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Plasma für die Mikrofertigung

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Plasma für die Mikrofertigung

Plasma für die Mikrofertigung
Plasmabehandlung eines Zuckerwürfels am Fraunhofer-Anwendungszentrum für Plasma und Photonik Bild: Fraunhofer IST
Für mikrostrukturierte Bauteile gibt es in der Medizintechnik großen Bedarf. Wissenschaftler haben dafür nun eine neues Verfahren auf Basis von Laser und Plasma entwickelt.

Das Göttinger Anwendungszentrum für Plasma und Photonik des Fraunhofer IST hat zwei Technologien miteinander kombiniert: Lasertechnik und Atmosphärendruck-Plasmaverfahren. Bei dieser so genannten Laser-Hybrid-Technologie werden Plasmen in den Laserstrahl gekoppelt, um dessen Effekte bei der Mikrostrukturierung zu verstärken.

Durch die plasmaverstärkten Effekte der Laserbehandlung ergeben sich laut Fraunhofer IST einige Vorteile. Dazu zählen präzisere Ergebnisse bei der Mikrostrukturierung, geringere Produktionskosten durch kürzere Behandlungszeiten und ein geringerer Energiebedarf. Zudem soll die neue Plasmaquelle leicht in bestehende Prozesse und Verfahren integrierbar sein.
Das Einsatzspektrum der Laser-Plasma-Hybridtechnologie ist breit. So soll sich Glas damit ebenso strukturieren lassen wie Metalle, Keramiken oder Kunststoffe.
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