Der KT500 ist ein klassischer, aus gleichen Platten bestehender Kreuztisch für Scanaufgaben. Trotz seines sehr flachen und kompakten Designs ermöglicht ein Verfahrweg von 350 mm auch das vollflächige Scannen von großen Teilen und Substraten. Der Scan-Tisch ist je nach Anforderung mit bis zu zwei elektrodynamischen Linearmotoren je Richtung ausgestattet (2+2 Motoren für ein besonders schnelles Scan-Ergebnis, 2+1 Motoren für eine gleiche Dynamik). Der Tisch ist so konstruiert, dass alle Ablaufparameter exakt wiederholbar sind. Erreicht wird dies durch Vermessung und Kompensation im Controller sowie Kreuzrollenführungen, die eine Ablaufwiederholbarkeit ähnlich Luftlagern ermöglichen. So beträgt die Wiederholgenauigkeit in Verfahrrichtung nur ±0,1 µm, die Wiederholgenauigkeit der Geradheit und Ebenheit ±0,15 µm. Neben der Basisversion mit linearer Kompensation (FMC200) steht mit der Serie FMC 400 auch ein High-End-Controller mit polynomischer Kompensation zur Auswahl. Die Konstruktionsweise mit Linearmotoren bietet vor allem in puncto Schnelligkeit Vorteile gegenüber Kreuztischen mit Spindeln. Der KT500 erreicht eine Spitzengeschwindigkeit von 300 mm/s. Der Kreuztisch arbeitet laut Hersteller bis zu 500 000 Vollhübe komplett wartungsfrei, danach ist nur ein Nachschmieren nötig.
Steinmeyer Mechatronik, Dresden
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