Un prototype performant à suspension magnétique

Le système PIMag 6D est le prototype d’un système de positionnement haute précision que Physik Instrumente (PI) a développé en coopération avec l’Institut des systèmes microélectroniques et mécatroniques (IMMS) et la faculté de mécatronique de l’Université technologique d’Ilmenau. Il repose sur le principe de la suspension magnétique. Selon l’étude de développement déjà bien avancée, le positionnement s’effectue avec une résolution de 10 nm. Sur une trajectoire circulaire de 100 nm de diamètre par exemple, le système ne s’écarte tout au plus que de quelques nanomètres du tracé idéal. La plage de déplacement du prototype est actuellement de 100 x 100 x 0,15 mm³. Les mouvements de trajectoire peuvent être exécutés avec une accélération maximale de 2 m/s2 et une vitesse maximale de 100 mm/s pour l’instant. Le contrôleur numérique de l’entraînement électromagnétique peut traiter différents fichiers de géométrie ainsi que des transformations de coordonnées et permet d’effectuer des mises à l’échelle précises. La plateforme est en suspension au-dessus d’un champ magnétique créé par six bobines et contrôlé en continu par un capteur 6D. Le champ magnétique prend alors en charge l’entraînement et positionne activement la plateforme.

Physik Instrumente (PI), Karlsruhe/Palmbach – Allemagne, Tél. +49 (0)721-4846-0