Das System PIMag 6D ist der Prototyp eines hochpräzisen Positioniersystems, welches der Anbieter in Kooperation mit dem Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) und dem Fachbereich Mechatronik der Universität Ilmenau entwickelt hat. Es basiert auf dem Prinzip des magnetischen Schwebens. Die schon recht fortgeschrittene Entwicklungsstudie positioniert mit einer Auflösung von 10 nm. Fährt das System etwa eine Kreisbahn mit 100 nm Durchmesser, liegt die maximale Abweichung von der Ideallinie bei nur wenigen Nanometern. Der Prototyp hat aktuell einen Bewegungsbereich von 100 x 100 x 0,15 mm³. Bahnbewegungen können bei einer Beschleunigung von bis zu 2 m/s2 und einer Geschwindigkeit von derzeit bis zu 100 mm/s durchgeführt werden. Der digitale Controller des elektromagnetischen Antriebs kann verschiedene Geometriefiles sowie Koordinatentransformationen verarbeiten und bietet damit eine gute Basis für Skalierungen. Der Läufer schwebt auf einem magnetischen Feld, das durch sechs Spulen erzeugt und aktiv über einem 6D-Sensor geregelt wird. Das magnetische Feld übernimmt dann die Aufgabe des Antriebs und der aktiven Führung des Läufers.
Physik Instrumente (PI), Karlsruhe/Palmbach, Tel. (0721) 4846-0
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