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Neue Mikrolinsen-Arrays mit mehr Linsen pro Wafer

Mikrooptiken
Neue Mikrolinsen-Arrays mit mehr Linsen pro Wafer

Neue Mikrolinsen-Arrays mit mehr Linsen pro Wafer
Zweidimensionales Mikrolinsen-Array, plankonvex mit rotationssymmetrischer Apertur Bild: Ingeneric

Die Ingeneric GmbH aus der Technologieregion Aachen hat neue Mikrolinsen-Arrays mit bis zu 500 einzelnen Linsen und Abmessungen bis zu 50 mm x 50 mm entwickelt. Sie sollen zum Beispiel für die Strahlformung und das Homogenisieren von Licht verwendet werden. Für Optiken mit kurzer Brennweite hat das Unternehmen die belegbare Fläche auf bis zu 10 x 10 mm erhöht und so das Produktspektrum nochmal erweitert.

Für die Fertigung der Arrays wird das Präzisions-Blankpressen angewendet, bei dem hochbrechendes Glas exakt die Form des Presswerkzeugs annimmt. Da das Unternehmen die Formen mit Submikron-Präzision fertigt, erzielt es bei der Produktion der Arrays nach eigenen Angaben eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. So sei es möglich, Arrays mit minimalen Übergangszonen, höchsten Füllfaktoren und kleinsten Pitch-Fehlern prozesssicher auch in Großserien herzustellen, heißt es.

Beim Entwurf von Mikrooptiken für spezielle Anwendungen bietet das Verfahren darüber hinaus große Freiheit: Im Vergleich mit dem Ätzverfahren können komplexe Optiken mit größerem Aspektverhältnis von Radius und Apertur realisiert werden. Darüber hinaus soll sich das Verfahren durch eine relative Radiustoleranz von besser als 0,2 % auszeichnen, die bei der Serienproduktion genau reproduzierbar ist.

www.ingeneric.com

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