An der Synchrotronstrahlungsquelle Anka im Forschungszentrum Karlsruhe entsteht derzeit die weltweit erste Produktionslinie für die Serienfertigung von Direkt-LIGA-Teilen. Die Fertigungsstraße, kurz Felig genannt, ist für eine hochautomatisierte Produktion mit lokalen Reinraumumgebungen ausgelegt und umfasst alle Prozessschritte von der Substratbestrahlung bis zur Qualitätskontrolle der Teile. Für den Fertigungsfluss sorgt Automatisierungs- und Handhabungstechnik der ACI-ecotec GmbH Co. KG aus St. Georgen. LIGA (Lithografie, Galvanik, Abformung) zählt zu den Spitzentechnologien in der Mikrosystemtechnik. Die direkte Strukturierung auf dem Wafer ermöglicht laut Anbieter eine gute Maßhaltigkeit, hohe Strukturen, eine nahezu freie Formgebung sowie eine sehr gute Seitenwandqualität. Hohe Produktionskosten aufgrund eines großen Anteils manueller Tätigkeiten, geringe Produktionskapazitäten und lange Durchlaufzeiten verhinderten bisher den industriellen Durchbruch der LIGA- Technik. Dies soll sich durch Felig, die erste modulare Fertigungsstraße für Mikrobauteile über Röntgentiefenlithografie und Galvanik, ändern. Ziel ist es, die Teilekosten um 60 % zu reduzieren, die Produktionskapazität um den Faktor 20 auszuweiten, die Produktionszeit zu verkürzen und die Prozesssicherheit zu erhöhen. An dem vom Bundesministerium für Bildung und Forschung geförderten Projekt sind mehrere mittelständische Industrieunternehmen sowie das Forschungszentrum Karlsruhe und die Universität Karlsruhe beteiligt.
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