Feinster Tastsinn

Mikrobauteile, die bei geringer Breite sehr steile und tiefe Strukturen besitzen, finden sich beispielsweise in Dieseleinspritzdüsen oder Mikrooptiken. Für herkömmliche Messverfahren waren diese Strukturen bisher nicht zugänglich. Neben den geometrischen Abmessungen ist auch die Rauheit derartiger Oberflächen von großem Interesse.

Der neu entwickelte Profilscanner der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) eröffnet auf diesem Gebiet nun ganz neue Möglichkeiten. Seine Schlüsselkomponente ist ein langer Siliziumbiegebalken mit integrierter Spitze und piezoresistiver Messbrücke zur Detektion der Auslenkung. Der feine Taster kann in Mikrolöcher oder -kanäle mit Durchmessern von nur 40 µm und bis in Tiefen von bis zu 1,5 mm eintauchen. Bei weichen Oberflächen lässt sich die Antastkraft der Tastspitze bis auf Werte von 1 µN herunterregeln.

Der Messkopf des Gerätes enthält neben dem Mikrosensor drei senkrecht zueinander angeordnete Laserinterferometer mit 1 nm Auflösung zur Gewährleistung der direkten Rückführbarkeit der Messungen auf die SI-Einheit Meter. Die Messstrahlen der Interferometer schneiden sich auf der Tastspitze des Sensors in einem Punkt, um nahezu abbe-fehlerfreie Messungen zu gewährleisten.

Der taktile Mikrosensor ist an einem 3D-Piezotisch befestigt und kann über einen Positionierbereich von 800 µm × 800 µm × 250 µm verfahren werden. Ein Vorteil des Mikrosensors liegt in seinem geringen Gewicht, das sehr hohe Verfahrgeschwindigkeiten und damit kurze Messzeiten erlaubt. In Experimenten an technischen Oberflächen wurden in der PTB Mikrosensoren mit Verfahrgeschwindigkeiten von bis zu 1 mm/s erfolgreich getestet. Dabei hat sich der Sensor auch als sehr robust erwiesen.