Parallelkinematisches Piezosystem positioniert bis 100 µm in drei Raumachsen

Der Nano Cube P-616 bietet eine identische Dynamik, Präzision und Geschwindigkeit aller drei Bewegungsachsen bei Lasten von bis zu 50 g. Damit eignet er sich für den Einsatz in der Faserkopplung, der Mikroskopie oder in der Präzisionsfertigung. Der P-616 misst 40 mm x 40 mm x 40 mm und wiegt 80 g. Der Stellweg beträgt in allen drei Raumachsen 100 µm mit einer Auflösung von 0,3 nm. Diese Auflösung wird mittels kapazitiven Sensoren kontaktlos und direkt realisiert. Um diese Leistungsmerkmale zu erreichen, setzt der Hersteller auf ein parallelkinematisches Design aus drei hebelübersetzten PICMA-Aktoren und reibungsfreien Festkörpergelenken. Nano Cube kann in einem Temperaturbereich von -20 bis +80 °C und im Vakuum bis 10-6 hPa betrieben werden. Der P-616 ist mit einem ID-Chip ausgestattet, der alle notwendigen Parameter und individuellen Produktinformationen des Systems für einen kundenspezifischen und reibungslosen Betrieb speichert und diese für Elektroniken auslesbar macht. Wenn das System an eine neue oder optimierte Elektronik angeschlossen wird, kann das Gerät direkt verwendet werden, ohne neu zu kalibrieren.

Physik Instrumente, Karlsruhe

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Bild: Physik Instrumente