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Laserleistung von UKP-Lasern für die Mikrobearbeitung messen

Leistungsmessung von Lasern
Sensor misst Leistung bei kurzen Pulsen

Sensor misst Leistung bei kurzen Pulsen
Der thermische Sensor Ophir F150(200)A-CM-16 eignet sich insbesondere für die Messung von KP- und UKP-Lasern in der Mikromaterialbearbeitung (Bild: MKS Instruments)
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Leistungsmessung von Lasern | Für moderne Kurzpulslaser und Ultrakurzpulslaser in der Mikrobearbeitung muss die Leistung exakt erfasst werden. Ein spezieller Sensor hält den Belastungen dabei stand.

Die Leistung von Kurzpulslasern und Ultrakurzpulslasern mit hoher Wiederholrate lässt sich mit dem thermischen Sensor Ophir F150(200)A-CM-16 der Darmstädter MKS Instruments messen. Solche Laser im Bereich von Nano-, Pico- oder Femtosekunden werden häufig in der Mikromaterialbearbeitung eingesetzt. Bei klassischen Sensorbeschichtungen führen solche Laser allerdings schon bei niedrigeren Leistungsdichten zu Beschädigungen am Sensor. Der kompakte, kalibrierte und lüftergekühlte F150(200)A-CM-16-Sensor hält einer durchschnittlichen Leistung bis 150 W stand, misst intermittierende Leistung bis 200 W und registriert auch sehr geringe Änderungen der Laserleistung. Damit eignet sich der Sensor besonders gut für die Mikromaterialbearbeitung sowie Anwendungen in der Halbleiter-, Solarzellen- und Displayfertigung oder der Medizintechnik.

Der F150(200)A-CM-16 erweitert die Produktfamilie der Sensoren, die gezielt für die Mikromaterialbearbeitung entwickelt wurden, darunter die Sensoren F80(120)A-CM-17 oder 30(150)A-SV-17. Der neue Sensor arbeitet mit industriellen Lasern mit Wellenlängen zwischen 248 nm und 9,4 µm.

Der Sensor ist lüftergekühlt und verfügt über eine 16-mm-Apertur. Sein Absorber nutzt sich auch bei sehr kurzen Pulsen und hohen Leistungsdichten von bis zu 35 kW/cm² bei 150 W nicht ab. Wie alle Ophir Sensoren bietet der F150(200)A-CM-16-Sensor eine Smart-Connector-Schnittstelle. Darüber lassen sich die Anzeigegeräte des Unternehmens wie das Centauri, Star Bright, Vega, Nova II oder die Star Lite Smart Displays sowie die USB PC-Schnittstellen Juno und Juno+ und der EA–Ethernet-Adapter anschließen.

Die Anzeigegeräte bieten ein Logging von Leistung und Energie, Statistiken, Histogrammen sowie umfangreiche mathematische Funktionen. Sie werden automatisch konfiguriert, sobald sie mit einem Ophir-Messkopf verbunden werden.

www.ophiropt.com

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