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Chemischer Sensor auf einem Chip

Miniaturisierte Lasertechnik
Chemischer Sensor auf einem Chip

Chemischer Sensor auf einem Chip
Ein Tropfen der Flüssigkeit genügt, um die Zusammen- setzung zu bestimmen Bild: TU Wien
Mit miniaturisierter Lasertechnik ist es an der TU Wien gelungen, auf einem wenige Millimeter großen Chip einen Sensor zu bauen, der die chemische Zusammensetzung von Flüssigkeiten messen kann. Laserstrahlen im Infrarotbereich werden von unterschiedlichen Molekülen unterschiedlich stark absorbiert: Dieses Prinzip wurde für den Sensor-Prototypen aufgegriffen. Speziell designte Quantenkaskaden-Laser und Lichtdetektoren werden im selben Herstellungsprozess auf einem Chip gefertigt, und zwar so, dass die Wellenlänge des Laserlichtes genau der Wellenlänge des Detektors entspricht. Der Abstand zwischen Laser und Detektor beträgt nur 50 µm. Er wird mit einem Oberflächenplasmonen-Wellenleiter aus Gold und Siliziumnitrid überbrückt. Dieser neue Ansatz ermöglicht die einfache und kostengünstige Produktion winziger Flüssigkeitssensoren für verschiedenste Einsatzzwecke. Der fertige Sensor-Chip kann in eine Flüssigkeit getaucht werden. Aus der Abschwächung des Lichtsignals durch absorbierende Moleküle lässt sich deren Zusammensetzung erschließen.

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