Mit der Piezomove-Serie bietet die Karlsruher Physik Instrumente GmbH (PI) mehrere Hebelaktoren an, die die Integrationsstufe zwischen vorgespannten Stapelaktoren mit einer Auslenkung bis etwa 100 µm und kompletten, mehrachsigen Stelltischen abdecken. Bei den Hebelaktoren sind die Piezoaktoren mechanisch in Festkörpergelenke eingebunden. Das verbessert die Führungsgenauigkeit. Verkippen oder seitlicher Versatz sind nicht zu befürchten. Gleichzeitig übersetzen die Festkörpergelenke die Auslenkung des Piezos in größere Stellwege. Im Gegensatz zu Nanopositioniersystemen bauen Hebelaktoren klein und sind dadurch gut integrierbar. Ihnen sind jedoch aus diesen Platzgründen bei der Auswahl der Sensoren und der Umsetzung parallelkinematischer mehrachsiger Lösungen Grenzen gesetzt. Die Hebelaktoren des Hersteller decken in drei Bauvarianten unterschiedliche Anwenderwünsche ab: Hebelaktoren vom Typ P-601 haben Stellwege bis 400 μm und eine hohe Positioniergenauigkeit bei sehr kompakten Abmessungen. Die P-602-Hebelaktoren arbeiten mit großen Stellwegen bis 1 mm. Da das Design flexibel ist, können hier zur Erhöhung der Steifigkeit und damit zur größeren Krafterzeugung Multilayer-Aktoren mit einer Grundfläche von 10 auf 10 mm eingesetzt werden. Die Hebelaktoren vom Typ P-603 schließlich erreichen Stellwege bis 500 µm und sind für eine besonders kostenoptimierte Herstellung in großen Stückzahlen ausgelegt.
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