Plasmabrush verbindet die Vorteile der Niederdruck-Plasmaverfahren, wie hohe Plasmaaktivität und geringe thermische Materialbelastung, mit denen der kontinuierlichen In-Line-Fertigung unter Umgebungsdruck. Damit eröffnen sich dem Verfahren neue Anwendungsmöglichkeiten in der Feinstreinigung, beim Aktivieren und Vernetzen von Oberflächen bei niedrigen Behandlungstemperaturen, geringer Gasgeschwindigkeit mit kaum nennenswerter mechanischer Substratbelastung, Spaltgängigkeit und Partikelfreiheit der Prozessgase. Mittels Plasmabrush wird die Oberfläche so angeströmt, dass störende Fremdgasbestandteile aus der aktiven Plasmazone verdrängt werden und somit Kavitäten, Spalten und Hinterschneidungen behandelt werden können. Auch dünnwandige, feine und komplexe Konturen lassen sich mit Plasmabrush bearbeiten. Das System ist sowohl reinraumtauglich als auch verschleißfrei und bietet nach Hersellerangaben eine hohe Prozesssicherheit.
Reinhausen Plasma, Regensburg
Tel. (0941) 4090-9100
Halle 4, Stand 903
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