Die Nanopositioniertische des Typs Qfocus QF-50 ermöglichen das genaue Positionieren von Mikroskop-Objektiven und optischen Instrumenten. Die Tische bieten Stellwege von 400 µm in der Closed-Loop- sowie 450 µm in der Open-Loop-Ausführung, hohe Positioniergeschwindigkeit, eine Linearitätsabweichung von 0,01 %, eine Schrittweite im Subnanometerbereich und eine bidirektionale Wiederholbarkeit von 4 nm. Der QF-50 kann in Verbindung mit optischen Instrumenten und Prozessen für die Lasermikrobearbeitung eingesetzt werden. Aufgrund seiner strukturellen Steifigkeit lassen sich mit dem QF-50 auch Objekte mit hoher numerischer Apertur positionieren. Der Tisch wird durch spielfreie Führungen positioniert, die mithilfe einer Finite-Elemente-Analyse berechnet wurden. Dadurch sind eine hohe Steifigkeit und ein hoher Prozessdurchsatz sowie kurze Closed-Loop-Ansprechzeiten garantiert. Bei seiner Konstruktion wurde besonderes Augenmerk auf die Festkörpergelenke gelegt. Dadurch garantiert der Anbieter einen Geradheitsfehler von maximal 40 nm über den gesamten Stellweg. Für den Closed-Loop-Betrieb können die Positioniertische wahlweise mit kapazitiven Sensoren ausgestattet werden. Im Gegensatz zu DMS-Sensoren oder piezoresistiven Sensoren ermöglichen kapazitive Sensoren eine direkte Positionsmessung und garantieren damit Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
Aerotech Germany, Fürth
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