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Nanopositionierung über große Stellwege

Nichtmagnetischer Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege

Nanopositionierung über große Stellwege
Im Linearversteller N-603 ersetzt der Hersteller einen klassischen piezoelektrischen Aktor durch einen hochauflösenden Piezo-schreitantrieb der Nexcat-Serie mit theoretisch unbegrenztem Stellweg. Aufgrund seiner Führungs- und Sensortechnologie kann der N-603 unter starken magnetischen Feldern oder im Vakuum verwendet werden. Reibungsfreie Festkörpergelenke aus Titan führen die Bewegung des Antriebs mit einem Übersprechen von wenigen Mikrometern. Als Positionssensor dienen Dehnmessstreifen mit einer Linearität von etwa 0,25 %, was zu einer Positioniergenauigkeit von rund 5 µm auf den gesamten Stellweg führt. Das Ergebnis ist ein positionsgeregelter, mikrometergenauer Linearaktor mit einer Höhe von lediglich 7,4 mm und einem Stellweg von 2 mm. Für den Betrieb des N-603 entwickelte der Hersteller einen kompakten Controller, der die Bewegungseigenschaften der Piezoschreitantriebe und die integrierten Dehnmessstreifen unterstützt. Der Einsatz der direktgetriebenen Nexcat-Schreitantriebe lohnt sich besonders dann, wenn möglichst gleichförmige Bewegungen auf langen Stellwegen mit größtmöglicher Genauigkeit erreicht werden sollen.

Physik Instrumente, Karlsruhe, Tel. (0721) 4846-0
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