Sensorik | Wie sich mehrlagige flexible Substrate mit eingebetteten ultraflachen Bauelementen aufbauen lassen, kann im neuen Stuttgarter Labor getestet werden. Medtech-Anwendungen sind denkbar.
Ein neues Labor zum Aufbau folienbasierter ultradünner Mikrosysteme nimmt die Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Villingen-Schwenningen, in Stuttgart in Betrieb. Die mit 650 000 Euro vom Land Baden-Württemberg geförderte Investition soll die technischen Voraussetzungen schaffen, um mehrlagige flexible Substrate mit eingebetteten ultraflachen Bauelementen aufzubauen. Diese würden die Integration von Sensorfunktionen, Spulen, Antennen und anderen in dünnwandige Strukturen und gekrümmte Bauräume ermöglichen. Damit lassen sich innovative Produkte für Cyber-Physical Systems (CPS) für Industrie-4.0-Anwendungen entwickeln, aber auch intelligente Leichtbau-Strukturen oder körpernahe Sensoren für die Medizintechnik und Smart Wearables.
Mit einem Conformal Coater können homogene Lackschichten auf Substrate mit einer Basismetallisierung selektiv aufgetragen werden. Die Strukturierung des Fotolacks erfolgt mit einem Direktbelichter, der eine Strukturauflösung von unter 25 µm erlaubt. Mit diesem maskenlosen Verfahren ist eine flexible Layoutgestaltung möglich. Die Basismetallisierung kann nach dem Entwickeln mit galvanischen Verfahren verstärkt werden. Eine Vakuumlaminierpresse wird zur passgenauen Ausrichtung und zum blasenfreien Fügen strukturierter flexibler Substrate zu einem ultradünnen Mikrosystem verwendet.
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