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Fokussieren im Nanometerbereich

Objektiv-Piezoantriebe
Fokussieren im Nanometerbereich

Die Pifoc-Z-Piezoantriebe der Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe/Palmbach, ermöglichen präzise Bewegungen in der z-Achse und lassen sich einfach mit einem Schnellverschlussadapter zwischen Objektiv und Revolver einsetzen. Sie verfügen über kurze Ansprechzeiten und positionieren auch bei verhältnismäßig großen Verfahrwegen bis 100 oder 400 µm sehr präzise. Die spielfreie Festkörperführung sorgt für hohe Fokusstabiltät. Fein positioniert werden kann im Bereich unter 1 nm. Die Einschwingzeit von weniger als 10 ms erhöht die Durchsatzraten und erlaubt schnelles Scannen durch Z-Stacks. Mögliche Einsatzbereiche sind Autofokussysteme, Oberflächenanalyse, Waferanalyse oder Screeningaufgaben bis hin zur Mehr-Photonen-Spektroskopie.

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