MEMS-Inertialsensoren Auflösungen von 10 µg oder 0,0005° möglich - medizin&technik - Ingenieurwissen für die Medizintechnik

MEMS-Inertialsensoren

Auflösungen von 10 µg oder 0,0005° möglich

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Bild: First Sensor
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Mit den hochgenauen kapazitiven Silizium-Inertialsensoren lassen sich Neigung, Beschleunigung und Vibration messen. Sie bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren (Harms, AIM) hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg oder 0,0005 ° (2 Bogensekunden) und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

First Sensor, Puchheim

Tel (089) 80073-0



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