Die Flüssigkeitssensoren SLQ-QT500 der Schweizer Sensirion AG, Stäfa, bieten einen Messbereich bis zu 120 ml/min für auf Wasser oder auf Kohlenwasserstoff basierende Flüssigkeiten. Damit eignen sie sich laut Hersteller für die Integration in anspruchsvollen Lacksystemen in der Halbleiterindustrie sowie für eine breite Palette von Dosier- und Durchflussanwendungen in anderen Branchen. Basierend auf der bewährten thermischen Sensortechnologie erreichen die Flüssigkeitsssensoren neue Dimensionen in Bezug auf die Empfindlichkeit, Zuverlässigkeit und Schnelligkeit. Nur die PFA-Anschlüsse und das Quarzrohr kommen mit der zu messenden Flüssigkeit in Berührung. Der ganze fluidische Pfad ist gerade, und es gibt keine Hindernisse oder bewegliche Teile im Sensor. Die SLQ-QT500 kann damit für Flüssigkeiten mit praktisch jeder Viskosität verwendet werden sowie für Flüssigkeiten, die kleine Teilchen enthalten. Für den Einsatz über weite Entfernungen und Bus-Funktionen werden eine intelligente digitale Schnittstelle und robuste RS485 Kommunikation angeboten. Die Empfindlichkeit und Messgeschwindigkeit bieten neue Möglichkeiten für die Überwachung oder Steuerung von schnellen Dosiervorgängen. Es kann sowohl die aktuelle Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit als auch die Ausgabe des insgesamt dosierten Volumens mit automatischer Dosierungserkennung gemessen werden. Der Sensor ist mit Kalibrierung für H2O und Isopropanol (IPA) erhältlich.
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