Eine der großen Herausforderungen in der Oberflächenbehandlung mit Plasma ist, dass sie keine sichtbaren Spuren auf dem Substrat hinterlassen soll. Wie beurteilt man also das Ergebnis der Behandlung? Hilfsgrößen, wie die rein visuelle Betrachtung des Plasmastrahls zum Beispiel in Bezug auf seine Farbe, reichen laut der Erfahrung der Plasmatreat GmbH, Steinhagen, nicht aus, um die Qualität der Behandlung ganzheitlich beurteilen zu können. Um die entscheidenden Parameter für einen sicheren Prozess kontinuierlich im Griff zu haben, hat das Unternehmen die Plasma Control Unit (PCU) entwickelt. Die unterschiedlichen Überwachungsmodule, die in der PCU vereint sind, umfassen zum Beispiel das Plasma Power Module (PPM), welches Strom- und Spannungswerte direkt am Düsenkopf erfasst. Das Light Control Module (LCM) weist durchgehend die Erzeugung des Plasmas nach. Zusätzlich passt das Flow Control Module (FCM) kontinuierlich die Durchflussrate des Prozessgases an die Gegebenheiten an. Funktionen wie das Pressure Control Module (PCM) zum Überprüfen des Düsenrückstaudrucks und das Rotation Control Module (RCM) zur Überwachung der Düsenkopfdrehung geben Aufschluss über den Zustand des Düsenkopfes. So soll sichergestellt werden, dass jedes Bauteil in einem Prozess mit der gleichen Plasmaintensität behandelt und in allen Fertigungslinien die gleiche Qualität erreicht wird. Alle Prozessdaten werden in Echtzeit bereitgestellt. Das in die PCU integrierte Display zeigt dem Bediener die wichtigsten Prozessparameter.
Plasmatreat, Steinhagen
Über den Hersteller:
Plasmatreat GmbH
Queller Str. 76-80
33803 Steinhagen
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