Der Particle Inspector wurde für den Erhalt einer sauberen und staubfreien Umgebung entwickelt, wie sie in Reinräumen benötigt wird. Mit ihm kann der Grad an Staub, mikroskopischen Fasern, Kleinstlebewesen und anderen Kontaminationsstoffen erkannt werden. Er verfügt über eine Auflösung von 8 micron pro Pixel und eine Reproduzierbarkeit von 95 % für 20 Partikel. Der Messbereich erreicht bis zu 2700 mm² je nach gereinigter Glasplatte (witness plate) bei einer Messgeschwindigkeit von bis zu 60 s. Die Bilder werden digitalisiert, um diese auf einen PC oder Laptop zu übertragen. Anschließend wird zum Analysieren und Verarbeiten der Bilddaten die Eye-Vision-Software verwendet. Erfasst wird pro Partikel die Länge und Breite, der Partikeltyp (Faser, Mikrobe oder anderes) sowie die Position des Partikels auf der Glasplatte. Zusätzlich fängt der Particel Inspector auch Proben ein, um diese zu analysieren und zu identifizieren. Messbereichsparameter sind außerdem P.A.C. (Percentage Area Covered) und P.D.C. (Percentage Deposition Class). Wie alle Gegenstände in Reinräumen ist auch der Particle Inspector nach ISO 14644 klassifiziert und nach VDI 2083 geprüft. Anwendungen findet das Gerät in der Halbleiterproduktion, Mikroelektronik und Feinwerktechnik sowie in den Biowissenschaften oder der Gesundheitspflege.
EVT Eye Vision Technology, Karlsruhe, Tel. (0721) 668004-0
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