Einen Mikrotaster, der sich in bestehende Verzahnungsmessgeräte integrieren lässt, haben Mitarbeiter des Instituts für Mikrotechnik der TU Braunschweig in Kooperation mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt entwickelt. Damit lassen sich Mikroverzahnungen mit Normalmodulen deutlich kleiner als 1 mm automatisiert vermessen. Der Taster lässt sich zur Qualitätssicherung an kleinen Topografien oder miniaturisierten Bauteilen einsetzen, wie sie in der Medizin- und Messtechnik, Automation, Robotik sowie in der Uhrenindustrie zu finden sind. Der 3D-Mikrotaster besteht aus einem Siliziumchip mit hochempfindlichen Kraftsensoren und dem vertikal montierten Taststift mit Tastkugel. Durch geeignete Mikrofertigungsverfahren können Tastkugeln mit Durchmessern zwischen 300 und 50 µm realisiert werden. Nach dem Einmessen an einer Kalibrierkugel lassen sich Mikrostrukturen damit auch in kommerziellen Koordinatenmessgeräten vermessen.
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