Il sistema PIMag 6D è il prototipo di un sistema di posizionamento ad elevata precisione offerto dal fabbricante in collaborazione con l’Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS – Istituto per sistemi di microelettronica e meccatronica) e la facoltà di Meccatronica dell’Università di Ilmenau. Il sistema si basa sul principio della levitazione magnetica. Lo studio di progettazione, già in fase avanzata, posiziona con una risoluzione di 10 nm. Se il sistema si muove lungo una traiettoria circolare con diametro di 100 nm, la divergenza massima dalla linea ideale è di pochi nanometri. Il prototipo ha attualmente un raggio di movimento di 100 x 100 x 0,15 mm³. È possibile realizzare movimenti continui con un’accelerazione fino a 2 m/s2 e una velocità che attualmente arriva a 100 mm/s. Il controller digitale dell’azionamento elettromagnetico può elaborare diversi file geometrici e trasformazioni di coordinate, offrendo una buona base per i fattori di proporzionalità. La girante levita su un campo magnetico generato da sei bobine e regolato attivamente tramite un sensore 6D. Il campo magnetico provvede all’azionamento e alla guida attiva della girante.
Physik Instrumente (PI), Karlsruhe (Germania), tel. +49-(0)721-4846-0
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