Der Einsatz von Mikrobauteilen in medizinischen Geräten erfordert hohe Genauigkeit und damit einhergehend Zuverlässigkeit und Funktionssicherheit. Nur dann kann beispielsweise eine Infusion über einen vorgegebenen Zeitraum in der erforderlichen Dosierung gegeben werden. Das Koordinatenmessgerät F25 von Carl Zeiss gestattet den Angaben zufolge taktiles Scanning sehr hoher Auflösung, aber auch optisches 2-D-Messen nicht tastbarer Elemente und Strukturen. Mit diesem Hightech-Messgerät sei es möglich, geometrische Strukturen abzutasten, die nur wenige Zehntelmillimeter groß sind und deren Fertigungsgenauigkeit weniger als 1 µm beträgt. Entscheidend ist, dass die Mikrobauteile während des Messens nicht deformiert, verschoben oder gar beschädigt werden. Daher wirken – bei Verwendung miniaturisierter Haltevorrichtungen – beim Messen mit taktilen Sensoren nur extrem kleine Kräfte. Die Messkraft entspricht etwa einem Vierhundertstel der Antastkraft eines großen Industriemessgerätes. Beim Programmieren, Messen und Dokumentieren unterstützt die CAD-basierte Messsoftware Calypso den Anwender. Damit können aus dem kompletten Messprogramm beliebige Merkmale angewählt werden.
Das Messvolumen der 3-D-Koordinatenmessmaschine F25 ist 1 dm3, die Messunsicherheit beträgt hier den Angaben zufolge 250 nm bei einer Auflösung von 7,5 nm. Der 3-D-Mikrotaster ist ausgelegt für Taststiftdurchmesser von 20 bis 500 µm und Tastkugeldurchmesser von 50 bis 700 µm bei einer freien Schaftlänge von bis zu 5 mm. Mit einem optischen Sensor sind 2-D-Messungen möglich.
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