Die neuen LBA-Sensoren messen niedrige Differenzdrücke in Bereichen von 250 und 500 Pa Messbereichsendwert. Durch eine vollständig analoge CMOS-Signalaufbereitung bieten sie lineare und temperaturkompensierte Ausgangssignale mit einer Auflösung von typ. 0,1 % und Reaktionszeiten von typ. 1 ms. Die LBA-Sensoren basieren auf der thermischen Massendurchflussmessung von Gas durch einen sehr kleinen, in den Sensor-Chip integrierten Strömungskanal, und bieten laut Herstellerangaben eine sehr hohe Empfindlichkeit und Offset-Stabilität. Dieser enge Kanal verringere den Gasfluss durch den Sensor und dessen Verbindungsschläuche um mehrere Größenordnungen im Vergleich zu herkömmlichen durchflussbasierten Drucksensoren, heißt es. Die LBA-Differenzdrucksensoren seien daher unempfindlich gegenüber Staub und Feuchtigkeit. Da der minimale Durchfluss bereits auf Chipebene durch die Geometrie des Strömungskanals festgelegt ist, entfallen aufwendige Gehäusekonstruktionen. Die Drucksensoren eignen sich zur Messung sehr kleiner Druckunterschiede in Geräten der Medizintechnik, beispielsweise Beatmungsgeräten.
Sensortechnics, Puchheim, Tel. (089) 80083-0
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