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Experimentieranlage für den universellen Einsatz

Plasmatechnik
Experimentieranlage für den universellen Einsatz

Die Diener electronic GmbH & Co. KG, Ebhausen, hat zu Forschungszwecken eine Universal-Experimentieranlage entwickelt, die Bell-Jar-35-Plasmaanlage. Sie dient in erster Linie wissenschaftlichen Experimenten, um die Plasmaprozesse zu optimieren. Die Anlage ist den Angaben zufolge sowohl für thermisches Verdampfen, Sputtern, Elektronenstrahlverdampfung und metallische Beschichtungen für Probenvorbereitungen für das Rasterelektronenmikroskop (REM) geeignet als auch für klassische Plasmaprozesse. Im Kammervolumen von zirka 35 l können optional drehbare Substrathalter eingesetzt werden, auf Wunsch mit Substratheizung oder -kühlung sowie mit einer Elektrode speziell zur Plasmavorbehandlung (Reinigen, Aktivieren, Ätzen, Plasmapolymerisation). Bedient wird Bell Jar 35 mit einer PC-Steuerung unter Windows XPE. Kunden können an dieser Anlage auch eigene Komponenten einbauen. Für die Anlage sind alle Optionen wie bei den Standard-Plasmaanlagen erhältlich.

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