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Dünne Schichten für den Schaltungsträger

Mikroelektronik
Dünne Schichten für den Schaltungsträger

Die Cicor Microelectronics der Cicor Gruppe hat sich auf die Herstellung von Dünnfilmschaltungen auf verschiedenen Substratmaterialien spezialisiert. Eine besondere Rolle spielen hier mittlerweile die flexiblen Materialien, sei es nun Polyimid, LCP oder ähnliches. Im Bereich der Medizintechnik, und hier besonders in Sensor- oder Aktoranwendungen, sind Schaltungen auf flexiblen Trägern aufgrund ihrer speziellen Eigenschaften gefragt. In Kooperation mit verschiedenen Kunden werden flexible Schaltungsträger für verschiedene medizinische Anwendungen entwickelt und produziert. Neben Substraten für Augenimplantate, Elektroden oder Augendrucksensoren lassen sich auch Anwendungen für Katheter realisieren. Bei der Herstelllung der Schaltungsträger kann die Art der Metallisierung je nach geplanter Anwendung frei gewählt werden: biokompatibel oder angepasst an einen nachfolgenden Bestückungsprozess, wobei die lateralen Auflösungsgrenzen im Bereich von 5 µm bis 10 µm liegen. Für das Basismaterial und die Isolatorlagen besteht die Option, je nach Komplexität entweder eine fertige Folie zu verwenden oder die Basis und die Isolatorlagen aus flüssigem Polyimid aufzubauen.

Cicor, Zürich/Schweiz www.cicor.com, Halle 2, Stand 2463
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