Der Schweizer Sensorhersteller Sensirion AG, Stäfa, hat den digitalen Massenflussmeter SFM3000 für hoch-voluminöse Anwendungen in medizinischen Geräten, in der Prozessautomation und Brennsteuerung auf den Markt gebracht. Durch das Design des Strömungskanals weist der neue SFM3000 einen Druckabfall von weniger als 3 mbar auf. Er misst Flussraten von Luft und anderen nicht-aggressiven Gasen bi-direktional bis 200 slm mit hoher Genauigkeit und schneller Durchlaufzeit. Bei einer Frequenz von 2 kHz gibt er ein digitales, intern linearisiertes und temperaturkompensiertes 14- bit-Signal wieder. Zudem agiert der Massenflussmesser mit einer 5 VDC Versorgungsspannung, die den direkten Anschluss an einen Mikroprozessor einfach und schnell ermöglicht. Der Gasflusssensor SFM3000 basiert auf der patentierten CMOSens-Technologie, welche Sensorelement, Signalverarbeitung und digitale Kalibrierung auf einem einzigen CMOS-Siliziumchip kombiniert. Die Flussrate des Gases wird mit einem thermischen Sensorelement gemessen, das im Vergleich zu anderen Messprinzipien einen erweiterten dynamischen Messbereich und eine verbesserte Langzeitstabilität garantieren soll.
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