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Auf den Mikrometer genau justieren

Piezoelektrische Antriebe
Auf den Mikrometer genau justieren

Die Piezosystem Jena bietet zum Feinjustieren von mechanischen Verstell-Systemen die MICI-Serie an. Die Nano-Positionierantriebe der Serie werden an der Schnittstelle zwischen Positioniertisch und Mikrometerschraube installiert. Die grobe Voreinstellung der Position erfolgt weiterhin mittels Mikrometerschraube. Der hochauflösende Piezoantrieb MICI erlaubt dem Anwender, eine Position mit Nanometergenauigkeit präzise nachzustellen, und erweitert die Funktionalität durch die elektronische Steuerung der Positionierung, so der Hersteller. Nun hat der Anbieter die Serie der MICI-Positioniersysteme um die Modelle MICI 200 und MICI 200 SG erweitert. Damit soll sich der verfügbare Bereich der Feinverstellung auf 240 µm im ungeregelten Einsatz bei gleichbleibender Dynamik und Belastbarkeit erhöhen. Der MICI 200 SG ist zusätzlich mit einem präzisen DMS-Wegsensor ausgestattet und bietet einen Stellbereich bis 200 µm im geregelten Modus. Dieser auch als closed-loop bezeichnete Modus kompensiert die bei piezobetriebenen Systemen prinzipbedingte Drift und Hysterese. Im Ergebnis werden Wiederholgenauigkeiten der Positionierung besser als 10 nm bei hoher Positionsstabilität erreicht. Die MICI 200 wird ähnlich zum kleineren Modell MICI 80 ganz einfach wie ein Adapter zwischen der Mikrometerschraube und dem Verstellelement befestigt. Mikrometerschrauben mit einer Fassung von 9 mm (Befestigungslänge 14 mm) wie Mitutoyo-Serie 152 und andere Hersteller können montiert werden.

Piezosystem Jena, www.piezojena.com
Halle 6, Stand 6424
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