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3D-Mikrostrukturen mit dem Laser fertigen

Lasertechnik
3D-Mikrostrukturen mit dem Laser fertigen

Um dreidimensionale, photonische Komponenten aus Glas automatisiert herzustellen, wollen Forscher das selektive Laser-induzierte Ätzen und das inverse Laserstrahlbohren nutzen. Im Projekt Lar3s – „Lasergenerierte dreidimensionale photonische Komponenten“ bündeln Mitarbeiter aus dem Max-Planck-Institut für die Physik des Lichts (MPL), dem Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT und dem Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC ihr Wissen. Beim inversen Laserstrahlbohren wird der Laserstrahl durch das Bauteil hindurch auf die Rückseite fokussiert und mittels Scanner über die abzutragende Fläche bewegt. So lassen sich Strukturen in den Faserrohling einbringen. Das Entfernen der Reststoffe aus den Bohrlöchern ist ein weiterer Aspekt. Beim Selektiven Laser-induzierten Ätzen wird der transparente Werkstoff mit fokussierten ultrakurz gepulsten Laserstrahlen rissfrei strukturiert. Das verändert seine chemischen Eigenschaften so, dass er selektiv ätzbar wird.

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